保护膜检测装置及保护膜检测方法

摘要

明之课题为在被加工物的加工面上被覆保护膜时，能够高精度地确认是否已将保护膜被覆于整个面。解决手段为对已被覆有保护膜之被加工物的上表面供给雾气，并对被加工物之上表面照射光来拍摄供给雾气后的被加工物之上表面，以从藉由拍摄所取得之图像中，利用被覆有保护膜之区域、和未被覆有保护膜因而形成有微细的液滴之凹凸而产生照射光之米氏散射的区域之摄像图像中的反射光的强度差，来检测未被覆有保护膜的区域，藉此高精度地确认是否已将保护膜被覆于整个面。

主权项

一种保护膜检测装置，是针对已被覆有保护膜之被加工物的上表面，检测所期望之区域实际上是否被前述保护膜被覆的保护膜检测装置，其具备：保持台，保持已于上表面被覆有前述保护膜之被加工物；液滴形成手段，在保持于前述保持台上之前述被加工物之上表面形成液滴；投光手段，将光源所发出之光照射至被加工物表面；摄像手段，拍摄前述被加工物之上表面；图像保持手段，将以前述摄像手段所拍摄之图像以可读取的方式保持；图像处理手段，处理以前述图像保持手段所保持之图像；以及检测手段，从前述摄像手段所拍摄之前述被加工物之上表面的图像资讯中，藉由以前述图像处理手段进行之图像处理，而利用下述二个区域之摄像图像中的强度差，来检测未被覆有前述保护膜之区域，前述二个区域分别是被覆有保护膜之区域、和未被覆有前述保护膜因而形成微细之液滴的凹凸而产生前述投光手段之照射光的米氏散射的区域。