具有侧边空腔的微型集音器及ＣＭＯＳ麦克风单晶片

摘要

型提供一种具侧边空腔的微型集音器，包含：一基底金属层、一可动薄膜、一环状侧壁及一侧边金属层。其中，可动薄膜与基底金属层面对而构成篓空之一振动空间。侧边金属层形成于可动薄膜的旁侧，由环状侧壁固定而与可动薄膜的周边间隔一距离而环绕可动薄膜，侧边金属层与基底金属层面对而形成侧边空腔，以辅助集音。

主权项

一种具侧边空腔的微型集音器，包含：一基底金属层；一可动薄膜，与该基底金属层面对而构成篓空之一振动空间：一环状侧壁；及一侧边金属层，形成于该可动薄膜的旁侧，由该环状侧壁固定而与该可动薄膜的周边间隔一距离而环绕该可动薄膜，该侧边金属层与该基底金属层面对而形成一侧边空腔，以辅助集音。