单结晶之制造方法

摘要

提高与单结晶之品质具有因果关系之提拉速度移动平均值的控制性能，制造结晶缺陷少之高品质的单结晶。
在单结晶之提拉开始之前，预先每隔既定提拉长度设定单结晶之提拉速度的目标值，自既定提拉长度之从提拉开始时间点至现在时间点之提拉速度的实际值算出提拉速度移动平均值，再算出在现在时间点之提拉速度之目标值的修正值，根据该修正值提拉单结晶。而且，在将是用以算出提拉速度移动平均值之实际值的提拉长度之过去的提拉长度设定为α、并将未来之提拉长度设定为β时，根据单结晶之直径的实际值，改变用以算出提拉速度目标值之修正值的提拉长度(α+β)。

主权项

一种单结晶之制造方法，根据柴可斯基法在使单结晶之提拉开始之前，预先每隔既定提拉长度设定该单结晶之提拉速度的目标值，在是该单结晶之提拉中且该既定提拉长度的提拉途中自该既定提拉长度之从提拉开始时间点至现在时间点之提拉速度的实际值算出提拉速度移动平均值，在该提拉速度移动平均值与该提拉速度之目标值有差分时，以使该提拉速度移动平均值与该提拉速度之目标值变成一致的方式，根据该提拉速度之目标值及该提拉速度移动平均值，算出在现在时间点之提拉速度之目标值的修正值，再根据该算出之提拉速度之目标值的修正值提拉该单结晶，其特征为：在将是用以算出该提拉速度移动平均值之实际值的提拉长度之过去的提拉长度设定为α、并将未来之提拉长度设定为β时，根据该单结晶之直径的实际值，改变用以算出该提拉速度目标值之修正值的提拉长度(α+β)。