涂布装置及喷嘴的维护方法

摘要

明的课题是防止喷嘴内的流路之异物的附着，在对被处理基板的处理液涂布时，从狭缝状的喷嘴吐出口均一地吐出处理液。

主权项

一种涂布装置，系具备：长状的喷嘴，其系从吐出口吐出处理液；及维护手段，其系于上述喷嘴的待机期间，上述喷嘴内的流路系被保持于从上述处理液置换成上述处理液的溶剂之状态，从上述喷嘴的吐出口吐出处理液至上述基板，形成涂布膜之涂布装置，其特征为：上述维护手段系具有：溶剂供给手段，其系对上述喷嘴供给上述溶剂；及液保持面，其系在与上述喷嘴的吐出口之间形成预定的间隙，在上述待机期间，上述喷嘴系被保持于对上述液保持面吐出预定量的溶剂之状态，上述溶剂对上述喷嘴的界面系被形成于上述喷嘴的外面。