发明名称 |
线路布局以及线路布局之间隙壁自对准四重图案化的方法 |
摘要 |
线路布局方法,包括:形成i个核心层,每一核心层包括:主体层,沿着第一方向延伸,且具有第一端以及第二端;以及末端层,连接于主体层的第一端,且朝向第二方向凸出;形成第一间隙壁,于核心层的侧壁;移除核心层;以及形成2i个辅助图案,且i为1以上的整数,每一辅助图案沿着第一方向延伸,并间隔地排列于第一方向;其中,在对应于末端层的区域中,未与辅助图案重叠的部分呈现工字钢的形状,且工字钢是由与对应于主体层的区域邻接的第一区、未与对应于主体层的区域邻接的第二区以及连接第一区与第二区的第三区所构成。 |
申请公布号 |
TW201616551 |
申请公布日期 |
2016.05.01 |
申请号 |
TW103136604 |
申请日期 |
2014.10.23 |
申请人 |
旺宏电子股份有限公司 |
发明人 |
吴致远;刘光文 |
分类号 |
H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/027(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
叶璟宗 |
主权项 |
一种线路布局之间隙壁自对准四重图案化的方法,包括: 形成i个核心层,每一核心层包括: 一主体层,沿着一第一方向延伸,且具有一第一端以及一第二端;以及 一末端层,连接于该主体层的该第一端,且朝向一第二方向凸出; 形成一第一间隙壁,于该些核心层的侧壁; 移除该些核心层;以及 形成2i个辅助图案,且i为1以上的整数,每一辅助图案沿着该第一方向延伸,并间隔地排列于该第一方向; 其中,在对应于该末端层的区域中,未与该些辅助图案重叠的部分呈现工字钢的形状,且该工字钢是由与对应于该主体层的区域邻接的一第一区、未与对应于该主体层的区域邻接的一第二区以及连接该第一区与该第二区的一第三区所构成。 |
地址 |
新竹市东区新竹科学工业园区力行路16号 |