阴极模组

摘要

阴极模组，适用于离子源。离子源包括箱体。阴极模组包括阴极与灯丝。阴极装设于箱体的一侧。阴极具有容置槽，背对于箱体。灯丝配置于容置槽内。灯丝具有第一弧形部、第二弧形部与第三弧形部，其中第一弧形部连接在第二弧形部与第三弧形部之间。第二弧形部与第三弧形部彼此靠近而在第一弧形部的两端形成瓶颈。

主权项

一种阴极模组，适用于一离子源，该离子源包括一箱体，该阴极模组包括： 一阴极，装设于该箱体的一侧，该阴极具有一容置槽，背对于该箱体；以及 一灯丝，配置于该容置槽内，该灯丝具有一第一弧形部、一第二弧形部与一第三弧形部，该第一弧形部连接在该第二弧形部与该第三弧形部之间，其中该第二弧形部与该第三弧形部彼此靠近而在该第一弧形部的相对两端处形成一瓶颈。