放电产生器及其电源装置

摘要

明之目的在于提供一种即使为大面积之被处理体，亦可实施均匀地使用自由基气体的处理之放电产生器及其电源装置。关于本发明之放电产生器及其电源装置(500)，系具备自由基气体生成装置(100)、处理室装置(200)、及n相反向器电源装置(9)。该处理室装置(200)，系邻接配置有自由基生成装置(100)，该自由基气体生成装置(100)系具有复数(n个)的放电单元(70)。n相反向器电源装置(9)系设为具有可控制输出n相交流电压之手段之电源电路构成，且可使各相之交流电压对应于前述放电单元(70)之设置位置而实施可变控制。

主权项

一种放电产生器及其电源装置，系具备自由基气体生成装置(100)，其系利用介电体屏蔽放电，从原料气体(G1)生成自由基气体(G2)；处理室装置(200)，其系被连接至前述自由基气体生成装置，于内部配设有被处理体(202)，利用前述自由基气体对该被处理体实施处理；以及电源装置(9)，系对前述自由基气体生成装置施加交流电压；前述处理室装置系具有装载前述被处理体且使该被处理体旋转之桌台(201)；前述自由基气体生成装置系具有产生前述介电体屏蔽放电之复数之放电单元(70)、以及将前述原料气体供给至该自由基气体生成装置内之原料气体供给部(101)；前述放电单元系具有：具有第一电极构件(5、31)之第一电极部(3、5、31)，与前述第一电极对向而配设且具有第二电极构件(1)之第二电极部(1、2)；与前述处理室装置内连接，且与配设于前述桌台上之前述被处理体相面对，并输出藉由前述介电体屏蔽放电从前述原料气体生成之前述自由基气体之开口
部(102)；前述电源装置系设为可输入1个交流电压，且可控制输出n相之交流电压之电源电路构成，各相之前述交流电压系施加于各前述放电单元，将前述施加于放电单元之前述交流电压可对应于前述放电单元之设置位置而可变地控制；其中，n系对应于前述放电单元数之数。