| 发明名称 |
感光性树脂组合物及感光性树脂积层体 |
| 摘要 |
明提供一种感光性树脂组合物，其系含有(A)硷可溶性高分子、(B)具有乙烯性不饱和双键之化合物、及(C)光聚合起始剂者，且于基板表面上形成包含该感光性树脂组合物之感光性树脂层并进行曝光及显影所获得的抗蚀剂图案中，于将焦点位置聚焦于该基板表面并进行该曝光时之图案解析度a、与将焦点位置聚焦于自该基板表面于该基板之厚度方向上挪移300μm之位置并进行该曝光时之图案解析度b之差未达15μm。
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| 申请公布号 |
TW201616234 |
申请公布日期 |
2016.05.01 |
| 申请号 |
TW105101582 |
申请日期 |
2014.12.26 |
| 申请人 |
旭化成电子材料股份有限公司 |
发明人 |
松田隆之 |
| 分类号 |
G03F7/004(2006.01);G03F7/027(2006.01);G03F7/031(2006.01);B32B27/30(2006.01);B32B27/16(2006.01);B32B27/18(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
一种感光性树脂组合物，其系含有(A)硷可溶性高分子、(B)具有乙烯性不饱和双键之化合物、及(C)光聚合起始剂者，且于基板表面上形成包含该感光性树脂组合物之感光性树脂层并进行曝光及显影所获得的抗蚀剂图案中，于将焦点位置聚焦于该基板表面并进行该曝光时之图案解析度a、与将焦点位置聚焦于自该基板表面于该基板之厚度方向上向基板内侧挪移300μm之位置并进行该曝光时之图案解析度b之差未达15μm。
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| 地址 |
日本 |
