蒸镀系统以及蒸镀方法

摘要

蒸镀系统以及蒸镀方法，适于对一欲蒸镀基材表面进行蒸镀。该蒸镀系统系利用提供一蒸镀材料及一蒸镀源板，蒸镀材料披覆于蒸镀源板表面，藉由一加热器对蒸镀源板加热，将蒸镀材料由固态转化为气态，开启一开闭装置使气态蒸镀材料通过孔洞而扩散到欲蒸镀基材表面，使其成膜。该蒸镀系统具有一传动装置，可控制该孔洞之开闭。

主权项

一种蒸镀系统，适于对一欲蒸镀基板进行蒸镀，该蒸镀系统包括：一蒸镀源板，该蒸镀源板具有至少一平面；一蒸镀材料，系披覆于该蒸镀源板至少一平面上；一加热器，系设置于可加热该蒸镀源板之区域，由该加热器对该蒸镀源板加热，将该蒸镀材料由固态转化为气态蒸镀材料；一开闭装置，具有复数孔洞，系设置于该蒸镀源板与该欲蒸镀基材之间；以及一传动装置，系耦接于该开闭装置，使该开闭装置之该些孔洞开启，让该气态蒸镀材料通过该些孔洞而扩散到该欲蒸镀基材表面，使其成膜。