| 发明名称 |
用于离子植入机之控制模组 |
| 摘要 |
明涉及一种用于离子植入机的控制模组，具有电源供应，此电源供应包含：发电机(HT)，具有其正极连接到地；第一开关(SW1)，具有其连接到发电机(HT)的负极之第一极和其连接到电源供应的出口端子(S)之第二极；第二开关(SW2)，具有其连接到出口端子(S)之第一极，和具有其连接到中性化端子(N)之第二极；此控制模组亦包含用于测量第二开关(SW2)的第二极和中性化端子(N)之间流动的电流之电流测量电路(AMP)。本发明亦提供一种具有本控制模组之离子植入机。
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| 申请公布号 |
TWI532085 |
申请公布日期 |
2016.05.01 |
| 申请号 |
TW101136688 |
申请日期 |
2012.10.04 |
| 申请人 |
离子束科技公司 |
发明人 |
托瑞葛洛沙 法兰克;洛克斯 罗伦 |
| 分类号 |
H01L21/265(2006.01);H01L21/67(2006.01);H05H1/36(2006.01);H05H1/38(2006.01);H05H1/54(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/265(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
一种用于离子植入机的控制模组，具有一电源供应，该电源供应包含：一发电机(HT)，具有其正极连接到地；一第一开关(SW1)，具有其连接到该发电机(HT)的负极之第一极和具有其连接到该电源供应的该出口端子(S)之第二极；一第二开关(SW2)，具有其连接到该出口端子(S)之第一极，和具有其连接到一中性化端子(N)之第二极；该控制模组，其特征在于，它包括用于测量该第二开关(SW2)的该第二极和该中性化端子(N)之间流动的该电流之一电流测量电路(AMP)。
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| 地址 |
法国 |
