改良型光学系统

摘要

明揭露的实施一般系关于用于热处理腔室中改良的灯头组件。在一个实施中，灯头组件包括灯壳管及插入管，该灯壳管包含设置于该灯壳管中的灯，该灯壳管具有面向基板支撑件一开口端，该插入管设置于该灯壳管内，该插入管环绕灯的至少一部分且在整个长度的插入管具有一恒定内直径，其中插入管将来自灯的辐射能往基板支撑件对准。插入管包含圆柱下部分及锥形(tapered)上部分，该圆柱下部分邻近于灯壳管的开口端设置，该锥形上部分与该圆柱下部分整合为一个主体。

主权项

一种用于加热设置于一基板支撑件上的一基板之灯头组件，包括：一灯壳管，该灯壳管包含设置于该灯壳管中的一灯，该灯壳管具有面向该基板支撑件的一开口端；及一插入管，该插入管设置于该灯壳管内，该插入管环绕该灯的至少一部分且在该整个长度的该插入管具有一恒定内直径，其中该插入管将来自该灯的辐射能往该基板支撑件对准，该插入管包含：一圆柱下部分，该圆柱下部分邻近于该灯壳管的该开口端设置；及一锥形(tapered)上部分，该锥形上部分与该圆柱下部分整合为一个主体。