低压气相钻石沉积法

摘要

明是有关于一种创新的低压气相钻石沉积法，使用经过选别及调控能量与数量的单旋电子流，打入由磁场或电场箝制及定向的碳原子结晶区，以重组、匹配碳分子最后一对电子的键结行为，而有效提升低压气相钻石沉积法之效率及品质为其特征者。

主权项

一种低压气相钻石沉积法，具有碳源气体解离室、碳原子离子化室、自旋电子分流室及钻石沉积室等主要设备单元，其特征在碳源气体经过加热解离出碳原子后，使其先进入高压电离场离化成为碳离子后，再送入设有电场或磁场控制的钻石沉积室，以与来自电子分流室打入的单旋电子，在电场或磁场的箝制下进行键结活动而沉积出钻石为其特征者。