薄膜的积层装置

摘要

明的技术课题，系提供一种薄膜的积层装置，藉由防止成为曝光障碍的积层薄膜的微细损伤等，能够在基板的微细图形形成的积层制程中，减低制品的不良状况。
本发明的解决方案，系一种薄膜的积层装置，系具备基板(4a、4b、4c)的搬运手段(1、3)，并将积层薄膜(9)的保护薄膜(16)予以剥离后，贴附于基板(4a、4b、4c)的薄膜的积层装置，其特征为：为了在积层前测量基板(4a、4b、4c)的长度，而因应所投入的基板(4a、4b、4c)的长度，使薄膜贴附长度变化，在刀刃部(14)和半切位置之间，具备因应基板(4a、4b、4c)的长度而使薄膜贴附长度变化的薄膜长度调整机构(13)，藉由该薄膜长度调整机构(13)将积层薄膜(9)在基板贴附长度1张分量的位置进行积层前予以半切，将连续的保护薄膜(16)，藉由薄膜搬运手段，直到设于积层辊(20)附近的刀刃部(14)，不从积层薄膜(9)剥离保护薄膜(16)地进行搬运。

主权项

一种薄膜的积层装置，系具备基板的搬运手段，并将积层薄膜的保护薄膜予以剥离后，贴附于基板的薄膜的积层装置，其特征为：为了在积层前测量基板的长度，而因应所投入的基板的长度，使薄膜贴附长度变化，在刀刃部和半切位置之间，具备因应基板的长度而使薄膜贴附长度变化的薄膜长度调整机构，藉由该薄膜长度调整机构将积层薄膜在基板贴附长度1张分量的位置进行积层前予以半切，将连续的保护薄膜，藉由薄膜搬运手段，直到设于积层辊附近的刀刃部，不从积层薄膜剥离保护薄膜地进行搬运。