具有多个入射角及／或方位角之光学计量装置及方法

摘要

明系关于一种光学计量装置，其同时侦测具有多个入射角(AOI)及/或多个方位角之光以判定一样本之至少一参数。该计量装置使用具有例如0.2至0.9之一大数值孔径的一光学系统使光聚焦在该样本上。藉由使自该样本反射之光行进穿过一光瞳板中之复数个光瞳而同时选择具有多个AOI及/或多个方位角之多个通道。例如，使用一或多个分光光度计侦测由该复数个光瞳产生之细光束以产生多个AOI及/或多个方位角之资料。接着，可处理多个AOI及/或多个方位角之该资料以判定该样本之至少一参数，诸如轮廓参数或叠对误差。

主权项

一种光学计量装置，其包括：一光源，其产生一光束；一光学系统，其使该光束聚焦成一样本上之一光点，该光学系统具有范围自0.2至0.9之一数值孔径；一光瞳板，其具有同时接收与该样本相互作用之后之该光束之复数个光瞳，其中该光束之一部分作为一细光束行进穿过该复数个光瞳之各者，该复数个光瞳经配置以产生呈复数个入射角及方位角之至少一者之细光束；至少一侦测器，其经定位以接收该等细光束；及一处理器，其经耦合以自该至少一侦测器接收该复数个入射角及方位角之至少一者之资料，该处理器经组态以基于该复数个入射角及方位角之至少一者之该资料判定该样本之至少一参数。