阴极保护垫调节器及其使用方法

摘要

明揭示一种用于化学机械平坦化之阴极保护垫调节器，其包含：包含一金属基材的一研磨构件、一支撑载体及贴附于该支撑载体周边边缘的一阳极。一阴极保护电路经组态以在若与电解质溶液接触的情况下从该阳极提供一阴极保护电流至该研磨构件。亦揭示一种使用该阴极保护垫调节器的方法。

主权项

一种用于化学机械平坦化的阴极保护垫调节器，其包括：一研磨构件，其包括一金属基材，该金属基材具有一研磨表面及与该研磨表面相对的一背表面，其中该研磨表面包括贴附于该金属基材的研磨颗粒；一支撑载体，其具有一接收表面及邻近该接收表面的一周边边缘，其中该接收表面贴附并邻近该研磨构件之该背表面；一阳极，其贴附于该周边边缘；及一阴极保护电路，其经组态以在与一电解质溶液接触的情况下从该阳极提供一阴极保护电流至该金属基材。