基板运送装置、基板运送方法及记录有用来实行该基板运送方法的程式之记录媒体

摘要

明提供一种基板运送装置、基板运送方法及记录有用来实行该基板运送方法的程式之记录媒体；该基板运送装置，将于基板周缘部具有缺口之基板藉由叉部固持、运送时，可精度良好地检测基板位置之偏移量，可轻易地修正此一偏移量，且可同时确认叉部之状态并加以修正。 该基板运送装置具有：基台；固持部3A，设为自基台自由进退，固持基板W；4个以上的检测部5，分别于不同位置，检测在固持部3A以固持基板W之状态后退时，固持部3A所固持的基板W其周缘部之位置；以及控制部，依据检测部5检测出的周缘部位置之检测値，判断检测部5之任一是否检测出基板W之周缘部其设置缺口之部分WN，在判断为一个检测部5检测出设置缺口之部分WN时，依据一个检测部5以外之3个检测部5的检测値，于运送至下一处理单元时修正至处理单元的基板W之传递位置。

主权项

一种基板运送装置，包含： 基台； 固持部，设成可自该基台自由进退，用以固持基板； 摄影部，在该固持部于固持住基板的状态下后退时，对于由该固持部所固持之该基板的周缘部之4点以上的相异位置的影像，进行摄影，而取得影像；以及 控制部，藉由该摄影部对于该周缘部的位置之影像进行影像处理，而求取该基板的周缘部之复数位置情报，并基于该位置情报，判定该位置情报之任一者是否检测出该基板的周缘部中设有缺口的部分，当判定为一个位置情报检测出设有该缺口的部分时，基于该一个位置情报以外的三个位置情报，在运送至下一个处理单元时修正为该处理单元之基板的传递位置。