液处理装置及喷嘴之起动注给处理方法

摘要

在喷嘴之起动注给处理中，减少藉由辊卷取药液之距离及卷取量，并使辊之洗净也成为容易之方法。
沿着起动注给辊(23)之长边方向之正上方，在与喷嘴(10)之缝隙状吐出口对峙之状态下，实行藉由上述喷嘴使药液R吐出至上述辊，而使药液介于上述喷嘴和辊之间隙间的液附着步骤。之后，实行将被吐出至上述起动注给辊(23)上之药液R暂时性地吸引至喷嘴侧的倒吸步骤。因藉由上述倒吸步骤之实行，可以缩短藉由辊卷取药液之距离，故可以增加一个辊可以利用于起动注给处理之次数。

主权项

一种液处理装置，具备从吐出口吐出药液之长条状之喷嘴，和使上述基板对上述喷嘴做相对性移动的相对移动手段，该液处理装置之特征为具备：起动注给辊(priming roller)，其系被配置在上述液处理装置之一部分，用于准备对上述被处理基板进行药液的液处理；喷嘴移动机构，其系能够使上述喷嘴之吐出口对峙于上述起动注给辊之正上方；及减压手段，其系被配置在对上述喷嘴供给药液之药液供给路中，可以暂时性地吸引从上述喷嘴吐出之药液，该液处理装置构成：藉由上述喷嘴移动机构，沿着上述起动注给辊之长边方向之正上方，与上述喷嘴之吐出口对峙，在实施对上述起动注给辊上吐出药液之起动注给处理的状态下，能够实行藉由上述减压手段将被吐出至上述起动注给辊之药液暂时性地吸引至喷嘴侧之动作。