列印系统总成与方法

摘要

示内容揭露用于列印基板之列印系统之各种实施例，其中该列印系统可容纳在气体包体中，其中该包体内之环境可作为受控列印环境来维持。本教示内容之受控环境可包括对该气体包体内气体环境之类型、对该包体内微粒物质之大小及位准之控制、对该包体内温度之控制及对照明之控制。本教示内容之列印系统之各种实施例可包括Y轴运动系统及Z轴移动板，该Y轴运动系统及该Z轴移动板系配置来例如藉由消除或实质上最小化知电动马达之使用而实质上降低该包体内之过量热负载。另外，本教示内容之Y轴运动系统之各种实施例可包括Y轴运动系统之夹持器运动控制总成，该夹持器运动控制总成系配置来在Y轴行进期间提供基板绕系塔-Z(θ-Z)轴之动态旋转定向，以维持平行于行进轴的基板定向之高精确度。

主权项

一种列印系统，其包含：一气体包体，其界定一内部；以及一列印系统，其容纳于该气体包体总成之该内部内，该列印系统包含：一列印头总成，其包含至少一个列印头；一基板支撑设备，其用于支撑一基板；以及一运动系统，其用于将该基板相对于该列印头总成定位，该运动系统包含：一Y轴线性空气轴承运动系统，其配置有用于夹持该基板之一基板夹持器总成，及用于维持平行于行进Y轴之该基板之定向的一夹持器运动控制系统；以及一X轴线性空气轴承运动系统。