| 摘要 |
본 발명은 에칭, 확산 접합 및 착자 공정을 통하여 스퍼터링 마스크 커버의 내부에 자성체를 밀봉한 구조로 제조하는 스퍼터링 마스크 커버 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 스퍼터링 마스크 커버 제조방법은, 1) 홀 형성 판넬 및 상하 덮개 판넬을 각각 준비하는 단계; 2) 상기 홀 형성 판넬의 설치홀에 자성체를 삽입하는 단계; 3) 상기 상하 덮개 판넬을 자성체가 설치된 상기 홀 형성 판넬의 상하 양면에 접합하는 단계; 4) 상기 상하 덮개 판넬과 홀 형성 판넬이 접합된 상태에서 상기 자성체를 착자하는 단계;를 포함한다. |
