摘要 |
펄스폭이 짧은 경우에도, 펄스마다, 펄스에너지를 안정화시키는 것이 가능한 레이저 가공장치를 제공한다. 레이저 광원이, 외부로부터 수신하는 레이저 발진 개시 트리거에 동기하여 레이저 발진을 개시하고, 레이저 발진 정지 트리거에 동기하여 레이저 발진을 정지한다. 검출기가, 레이저 광원에 부여하는 전력, 및 레이저 광원으로부터 출사된 레이저펄스 중 적어도 일방에 의존하는 물리량을 검출한다. 제어장치가, 레이저 광원에 레이저 발진 개시 트리거를 부여함과 함께, 검출기에 의한 물리량의 검출 결과에 근거하여, 레이저 광원에 발진 정지 트리거를 부여한다. |