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서미스터에 사용되는 금속 질화물 재료로서, 일반식：M(AlSi)N(단, M 은 Ti, V, Cr, Mn, Fe 및 Co 중 적어도 1 종을 나타낸다. 0.0 ＜ w ＜ 0.3, 0.70 ≤ y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.4 ≤ z ≤ 0.5, x ＋ y ＋ z = 1) 로 나타내는 금속 질화물로 이루어지고, 그 결정 구조가 육방정계의 우르츠광형의 단상이다. 이 서미스터용 금속 질화물 재료의 제조 방법은, M-Al-Si 합금 스퍼터링 타깃 (단, M 은 Ti, V, Cr, Mn, Fe 및 Co 중 적어도 1 종을 나타낸다) 을 사용하여 질소 함유 분위기 중에서 반응성 스퍼터를 실시하여 성막하는 성막 공정을 갖고 있다. |
