Semiconductor Device including Resistor and Method of Fabricating the same

摘要

저항 소자를 갖는 반도체 장치 및 그 형성 방법을 제공한다. 이 방법은 반도체기판상에 트렌치를 정의하는 주형 패턴들을 형성하고, 주형 패턴들 상에 트렌치를 가로지르는 저항 패턴을 형성하고, 저항 패턴 상에 서로 이격된 제 1 및 제 2 도전 패턴들을 국소적으로 형성하는 단계를 포함할 수 있다.