| 发明名称 |
SINGLE PLATFORM WORK PIECE PROCESSING APPARATUS FOR DRY AND WET PROCESSING |
| 摘要 |
본 발명의 건식 및 습식 처리를 위한 단일 플랫폼의 기판 처리 설비는 건식 및 습식 처리를 하나의 단일 플랫폼에서 수행하여 피처리 기판의 오염을 방지할 수 있으며 설비의 바닥 면적을 최소화 할 수 있다. 또한 각각의 건식 처리 설비와 습식 처리 설비를 독립적으로 구성하여 운영하는 방식과 비교하여 설비구축 비용이나 운영 및 유지보수 비용 측면에 있어서도 절감 효과를 얻을 수 있다. |
| 申请公布号 |
KR101612516(B1) |
申请公布日期 |
2016.04.29 |
| 申请号 |
KR20140093679 |
申请日期 |
2014.07.24 |
| 申请人 |
최도현 |
发明人 |
최도현 |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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