| 摘要 |
본 발명은 반도체 제조 설비용 초음파 스크러버에 관한 것으로서,더욱 상세하게는 반도체 제조 설비의 폐가스를 전달하는 관을 비롯하여 고온의 열처리 챔버 등을 포함하는 임의의 위치에 배치되어 초음파 진동을 전달함으로써 분진의 고착을 방지하는 반도체 제조 설비용 초음파 스크러버에 관한 것이다. 본 발명은, 반도체 프로세스 챔버로부터 발생하는 폐가스의 배기 경로 상에 위치하는 스크러버 챔버;와, 상기 스크러버 챔버의 외주면을 둘러쌓아 밀착 고정되는 초음파 전달 밴드; 상기 초음파 전달 밴드에 고정 부착되는 진동 전달 부재; 및 상기 진동 전달 부재에 일단이 고정 결합되는 초음파 혼; 상기 초음파 혼의 타단에 결합되어 초음파 진동을 제공하는 초음파 변환기; 및 상기 초음파 변환기를 전기적으로 구동하는 초음파 변환기 구동 전력증폭기; 원기둥 형상으로 양단 원형면 중앙에 관통구를 구비하고 관통구를 통해 상기 초음파 혼이 관통 결합되는 냉각 유닛;을 구비함으로써, 초음파 변환기로 전도되는 열을 차단시키고 초음파 진동 에너지의 손실을 극소화하며 고온의 환경에서도 초음파 변환기의 효율과 안정성을 보장하는 반도체 제조 설비용 초음파 스크러버를 제공한다. |
