| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer dreidimensionalen Struktur in einem mittels Energieeintragsmethoden polymerisierbaren und dadurch verfestigbaren Lithografiematerial, wobei zunächst mittels einer ersten, räumlich ortsauflösenden Energieeintragsmethode eine Mantelwandung der zu erzeugenden Struktur derart polymerisiert wird, dass ein Volumen an unpolymerisiertem Lithografiematerial eingeschlossen ist, wobei in einem Zwischenentwicklungsschritt die polymerisierte Mantelschale umgebendes Lithografiematerial entfernt wird, wobei danach mittels einer zweiten Energieeintragsmethode das durch die Mantelschale eingeschlossene Volumen polymerisiert wird. |
