Laser-Längenmesssystem

摘要

Die Erfindung betrifft ein Laser-Längenmesssystem (54) mit einer Strahlerzeugungsvorrichtung (10), die (a) eine erste Laserlichtquelle (12) für erstes Laser-Licht (L1) einer ersten Grund-Frequenz (νg1) und drittes Laser-Licht (L3), das eine dritte Grund-Frequenz (νg3) hat, die einem Mehrfachen, insbesondere dem Doppelten, der ersten Grund-Frequenz (νg1) entspricht, zumindest eine zweite Laserlichtquelle (14) für zweites Laser-Licht (L2) einer zweiten Grund-Frequenz (νg2) und viertes Laser-Licht (L4), das eine vierte Grund-Frequenz (νg4) hat, die einem Mehrfachen, insbesondere dem Doppelten, der zweiten Grund-Frequenz (νg2) entspricht, zumindest einen Frequenzschieber (AOM1, AOM2, AOM3) zum Verschieben von Frequenzen von Laser-Licht (L1, L2, L3, L4) um eine erste Hochfrequenz (fAOM1), eine zweite Hochfrequenz (fAOM2) und zumindest eine dritte Hochfrequenz (fAOM3) aufweist, wobei die Hochfrequenzen (fAOM1, fAOM2, fAOM3) so gewählt sind, dass durch Überlagern von Laser-Licht zumindest zwei unterschiedliche Schwebungsfrequenzen erzeugbar sind, einem Interferometer (56) zum Überlagern von Laser-Licht (L1, L2, L3, L4), sodass die Schwebungsfrequenzen (fSchweb) entstehen und einer Auswerteeinheit (58), die eingerichtet ist zum automatischen Berechnen der absoluten, brechzahlkompensierten optischen Weglänge aus den Phasen der Schwebungsfrequenzen (fSchweb).