发明名称 Verfahren zum bi-direktionalen und/oder unidirektionalen Abtragen einer Glasmantelschicht eines Glasförmlings und Glasförmling
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abtragen von Glas bei dem über die Länge des Substrates (Glasförmlings) die Parameter des Abtragevorgangs derart eingestellt werden, dass ein gleichmäßiger Abtrag über die komplette Substratlänge erreicht werden kann.
申请公布号 DE102014115534(A1) 申请公布日期 2016.04.28
申请号 DE201410115534 申请日期 2014.10.24
申请人 j-plasma GmbH 发明人 Hanf, Robert;Kötzing, Jörg;Brehm, Lothar
分类号 C03B37/012 主分类号 C03B37/012
代理机构 代理人
主权项
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