发明名称 |
Verfahren zum bi-direktionalen und/oder unidirektionalen Abtragen einer Glasmantelschicht eines Glasförmlings und Glasförmling |
摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abtragen von Glas bei dem über die Länge des Substrates (Glasförmlings) die Parameter des Abtragevorgangs derart eingestellt werden, dass ein gleichmäßiger Abtrag über die komplette Substratlänge erreicht werden kann. |
申请公布号 |
DE102014115534(A1) |
申请公布日期 |
2016.04.28 |
申请号 |
DE201410115534 |
申请日期 |
2014.10.24 |
申请人 |
j-plasma GmbH |
发明人 |
Hanf, Robert;Kötzing, Jörg;Brehm, Lothar |
分类号 |
C03B37/012 |
主分类号 |
C03B37/012 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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