Verfahren zum Herstellen eines Sensorelements zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines Messgases in einem Messgasraum

摘要

Es wird ein Verfahren zum Herstellen eines Sensorelements (10) zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines Messgases in einem Messgasraum, insbesondere zur Erfassung eines Anteils einer Gaskomponente in dem Messgas oder einer Temperatur des Messgases, vorgeschlagen. Bei dem Verfahren wird ein sich in einer Längserstreckungsrichtung (40) erstreckender keramischer Schichtaufbau (12) ausgebildet. In dem keramischen Schichtaufbau (12) wird mindestens eine elektrochemische Zelle (26) ausgebildet. Die elektrochemische Zelle (26) weist mindestens zwei Elektroden (16, 18) und mindestens einen die Elektroden (16, 18) verbindenden Festelektrolyten (14) auf. In dem Schichtaufbau (12) wird weiterhin mindestens ein Heizelement (32) ausgebildet. Das Heizelement (32) ist zum Erwärmen der elektrochemischen Zelle (26) ausgebildet. Der keramische Schichtaufbau (12) wird mittels eines Laserstrahls derart bestrahlt, dass der keramische Schichtaufbau (12) in Längserstreckungsrichtung (38) betrachtet zumindest im Bereich (44) der elektrochemischen Zelle (26) eine geringere thermische Masse pro Längeneinheit aufweist als außerhalb des Bereichs (44) der elektrochemischen Zelle (26).