Mikrofluidvorrichtung und Verfahren zum Herstellen derselben

摘要

Mikrofluidvorrichtung mit: zumindest einem Bauteil (22), in dem bzw. in denen Kanalstrukturen (24a) gebildet sind, die zumindest teilweise zu einer jeweiligen Bauteiloberfläche (26) des zumindest einen Bauteils (22) offen sind; und einer Folie (28), die eine Öffnung (34; 34') aufweist, über die zumindest eine erste und eine zweite der Kanalstrukturen (24a, 24c; 24a, 24b) miteinander verbunden sind, und die zumindest eine dritte der Kanalstrukturen an (24b; 24c) der jeweiligen Bauteiloberfläche (26) zumindest teilweise verschließt, so dass dieselbe nicht über die Öffnung (34; 34') mit der ersten und zweiten Kanalstruktur verbunden ist, wobei die erste bis dritte Kanalstruktur in dem gleichen Bauteil gebildet sind und sich jeweils in der Bauteiloberfläche desselben zumindest teilweise öffnen, wobei die Folie die Bauteiloberfläche des gleichen Bauteils so bedeckt, dass die erste und zweite Kanalstruktur über einen lateral entlang der Bauteiloberfläche des gleichen Bauteils und innerhalb der Öffnung in der Folie führenden Pfad miteinander verbunden sind, während die dritte Kanalstruktur nicht an die Öffnung angrenzt, wobei die erste bis dritte Kanalstruktur (24a) Vertiefungen in der Bauteiloberfläche des gleichen Bauteils aufweisen, die von der Folie zumindest teilweise abgedeckt sind, wobei der durch die Öffnung (34) in der Folie (28) führende Pfad auf einer der Bauteiloberfläche (26) des gleichen Bauteils (22) abgewandten Seite mit einer porösen Membran (42) als einem Deckel verschlossen ist, und wobei der durch die Öffnung (34) in der Folie (28) führende Pfad einen gegenüber der ersten bis dritten Kanalstruktur verringerten Flussquerschnitt aufweist, so dass durch eine lokale Druckerhöhung das Ausgasen über die poröse Membran (42) gefördert wird.