发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung einer elektronischen Entladung
摘要 Beschrieben sind eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Erzeugung einer elektrischen Entladung. Eine erste Elektrode (30) wird gegenüber einer zweiten Elektrode (16) als Kathode geschaltet. Durch die erste Elektrode (30) wird ein Gas in eine Kammer (14) eingeleitet. Die erste Elektrode (30) weist eine abgeschlossene Vorkammer (32) mit einer metallischen Wandung (34) auf. Ein Rohr (36) ist vorgesehen, durch das Gas aus der Vorkammer (32) in die Kammer (14) geleitet wird. Ein vorderer Bereich des Rohrs (36) ist in die Wandung (34) der Vorkammer (32) eingebettet. In seinem hinteren Bereich weist das Rohr (36) ein frei in die Vorkammer (32) hineinragendes Ende auf. Hierdurch kann auf besonders einfache Weise eine stabile elektrische Entladung erzeugt werden.
申请公布号 DE102014115492(A1) 申请公布日期 2016.04.28
申请号 DE201410115492 申请日期 2014.10.24
申请人 CemeCon AG 发明人 May, Walter
分类号 H01J37/32;C23C14/35 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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