Lichtemittierende Vorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung

摘要

Die vorliegende Offenbarung stellt ein Verfahren zum Herstellen einer lichtemittierenden Vorrichtung bereit, das umfasst: Bereitstellen eines ersten Substrats und mehrerer gestapelter Halbleiterblöcke auf dem ersten Substrat, wobei jeder der mehreren gestapelten Halbleiterblöcke eine Halbleiterschicht vom ersten leitfähigen Typ, eine lichtemittierende Schicht auf der Halbleiterschicht vom ersten leitfähigen Typ und eine Halbleiterschicht vom zweiten leitfähigen Typ auf der lichtemittierenden Schicht umfasst; wobei eine Rinne vorhanden ist, die zwei benachbarte gestapelte Halbleiterblöcke auf dem ersten Substrat trennt, und eine Breite der Rinne weniger als 10 µm beträgt; und Ausführen eines ersten Trennschritts, um einen ersten gestapelten Halbleiterblock der mehreren gestapelten Halbleiterblöcke von dem ersten Substrat zu trennen und einen zweiten gestapelten Halbleiterblock auf dem ersten Substrat zu halten.