| 摘要 |
Eine mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung, welche es ermöglicht, dass eine Analyseposition in einer mit einem EBSD-Detektor analysierbaren Probe vorab erfasst wird, und welche es ermöglicht, dass eine Probe in einer kurzen Zeit zu einer gewünschten Analyseposition eingestellt wird. Eine mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung ist versehen mit einer Quelle (111) geladener Teilchen, einem mit geladenen Teilchen arbeitenden optischen System (115), einem EBSD-Detektor (101), einem Probentisch (116), einer Bildanzeigeeinheit (117) zum Anzeigen eines Abschnitts der Probe, der mit dem EBSD-Detektor betrachtbar ist, und eines nicht betrachtbaren Abschnitts der Probe, so dass die Abschnitte voneinander unterschieden werden, einer Betriebseingabeeinheit (121), wo eine durch den EBSD-Detektor zu betrachtende Position eingegeben wird, und einer Steuereinheit (118) zum Steuern einer ebenen Bewegung, einer Neigungsbewegung und einer Drehbewegung des Probentisches, um zu ermöglichen, dass die von der Betriebseingabeeinheit eingegebene Betrachtungsposition mit dem EBSD-Detektor betrachtet wird. |
