3 THREE DIMENSIONAL SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE

摘要

3차원 반도체 메모리 소자가 제공된다. 3차원 반도체 메모리 소자는 리세스 영역을 가지는 반도체 기판, 리세스 영역으로부터 멀어지는 방향으로 연장된 활성 패턴, 반도체 기판 상에 활성 패턴과 대향하며 수평 방향으로 연장되는 하부 선택 게이트을 포함한다.