Eine akustische Volumenwellen-Resonatoreinrichtung, die eine Temperaturkompensationsanordnung mit einer Schicht von niedriger akustischer Impedanz umfasst

摘要

Eine akustische Resonatoreinrichtung umfasst eine Temperaturkompensationsanordnung, die: unter der ersten Elektrode und über dem Substrat angeordnet ist, oder über der ersten Elektrode angeordnet und in Kontakt mit der piezoelektrischen Schicht ist, oder unter der zweiten Elektrode angeordnet und in Kontakt mit der piezoelektrischen Schicht ist, oder in der piezoelektrischen Schicht eingebettet verdeckt ist.