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Die Erfindung betrifft eine Abfrageantenne für Transpondersysteme zur Erfassung von technischen Parametern aus Prozessräumen mit anspruchsvollen thermischen und/oder elektrischen und/oder chemischen Umgebungsbedingungen, insbesondere für Verfahren zur Erzeugung von spezifischen Funktionsschichten auf Oberflächen zwei- oder dreidimensionaler Objekte, wobei das zu behandelnde Objekt in einem Prozessraum angeordnet wird, in dem eine Plasmawolke erzeugt wird und wobei das Plasma bezüglich seiner Dichte und chemischen Zusammensetzung verändert wird, um jeweils spezielle Temperaturzyklen und chemische/physikalische Oberflächenzustände zu realisieren. Aufgabe der Erfindung ist es, eine Schutzvorrichtung für diesbezügliche Antennen zu schaffen, die eine funktionell zuverlässige Datentelemetrie innerhalb von dynamisch ionisierten Umgebungen ermöglicht. Dabei soll die zu schaffende Vorrichtung insbesondere einen zuverlässigen Schutz gegen eine Verstimmung der Resonanzfrequenzen bei sich dynamisch veränderndem Umgebungsplasma sowie gegen thermische Belastungen und gegen elektrische Entladungen bewirken. Diese Aufgabe wird gelöst, indem die Abfrageantenne als eine Doppel-Delta-Antenne in Mäanderform mit einem elektrisch geschirmten Anschlussbereich ausgestaltet ist und metallische mechanische Stützstrukturen sowie eine metallische Basisplatine aufweist, wobei die metallischen mechanischen Stützstrukturen funktionell auch als Schutzelektrode gegen elektrische Entladungen ausgestaltet sind, indem sie elektrische Überschläge aus dem Prozessraum abfangen und ableiten und wobei die metallische Basisplatine funktionell als Hauptreflektor ausgestaltet ist und gegen die Wandung des Prozessraumes kontaktiert ist, auf der Montageplätze für die mechanischen und elektrischen Strukturen der Antenne eingebracht sind. |
