成膜装置

摘要

本发明涉及成膜装置。提供生产性高的成膜装置。增大多个自转公转夹具(21₁~21₅)的倾斜度，使邻接的二块(21₁~21₅)的前头侧和后尾侧重合。如果使自转公转夹具(21₁~21₅)一边以夹具旋转轴线(29)为中心而旋转，一边以主旋转轴线(12)为中心而回旋移动，则从成膜源(15)放出的成膜材料粒子到达由各自转公转夹具(21₁~21₅)保持的基板(26)，形成薄膜。由于自转公转夹具(21₁~21₅)之间的间隙小，因而成膜材料(15b)的使用效率提高。

主权项

一种成膜装置，具有：真空槽；圆形轨道，配置于所述真空槽内；成膜源，将成膜材料粒子放出至所述真空槽的内部；多个自转公转夹具，配置有多个基板；多个行驶车轮，配置于所述圆形轨道上；夹具安装装置，保持多个所述自转公转夹具；以及电动机，使所述夹具安装装置围绕主旋转轴线旋转，多个所述自转公转夹具，在所述圆形轨道的内侧，沿着所述圆形轨道一台一台地以圆形并排地配置，各所述自转公转夹具分别连接至其他所述行驶车轮，如果通过所述电动机而使得所述夹具安装装置旋转，则所述自转公转夹具通过所述夹具安装装置的旋转而围绕所述主旋转轴线回旋移动，并且，连接至各所述自转公转夹具的所述行驶车轮一边以车轮旋转轴线为中心而旋转，一边行驶于所述圆形轨道上，通过所述行驶车轮的旋转而使得所述自转公转夹具以夹具旋转轴线为中心而旋转，配置于所述自转公转夹具的所述基板，与所述自转公转夹具一起进行旋转和回旋移动，同时，在表面附着有所述成膜材料粒子，形成有薄膜，各所述自转公转夹具，在进行所述回旋移动的方向的前头侧和后尾侧，与邻接的其他所述自转公转夹具重合而配置，各所述自转公转夹具分别地，在所述前头侧重合的部分和在所述后尾侧重合的部分的任一侧比重合的其他所述自转公转夹具更位于所述主旋转轴线的附近，另一侧比重合的其他所述自转公转夹具离所述主旋转轴线更远地定位。