| 发明名称 | 一种针测机晶圆传输机构手臂 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种针测机晶圆传输机构手臂，涉及半导体制造设备技术领域，包括支架、机械手，所述机械手与支架固定连接，所述机械手包括机械手掌和机械手指，所述机械手指包括两个机械手内指和两个机械手外指，所述两个机械手内指的间距大于相邻机械手内指与机械手外指之间的间距，所述机械手掌、机械手内指、机械手外指上表面开设有真空孔。本实用新型传输机构手臂，机械手设计成机械手掌和机械手指，通过设置多个机械手指来增加手臂与晶圆的接触面积，在机械手掌和机械手指上表面开设真空孔和内部真空设计，增大手臂与晶圆的吸力，避免传输机构手臂在晶圆转换时发生晶圆掉落，有效地减小产品报废的风险。 | ||
| 申请公布号 | CN205194674U | 申请公布日期 | 2016.04.27 |
| 申请号 | CN201520828700.X | 申请日期 | 2015.10.22 |
| 申请人 | 安徽超元半导体有限公司 | 发明人 | 沈顺金 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海集信知识产权代理有限公司 31254 | 代理人 | 任永武 |
| 主权项 | 一种针测机晶圆传输机构手臂，包括支架、机械手，所述机械手与支架固定连接，所述机械手包括机械手掌和机械手指，其特征在于：所述机械手指包括两个机械手内指和两个机械手外指，所述两个机械手内指的间距大于相邻机械手内指与机械手外指之间的间距，所述机械手掌、机械手内指、机械手外指上表面开设有真空孔。 | ||
| 地址 | 247100 安徽省池州市经济技术开发区电子信息产业园17号厂房 | ||