一种大数值孔径的投影光学系统

摘要

本发明涉及一种大数值孔径的投影光学系统，用于将物平面上的图案经过一定比例的缩放后投射到像平面上，所述的投影光学系统从物面到像面依次有五个镜组，其中，第一个镜组为平板玻璃，它充当系统的保护玻璃；第二个镜组为纯折射镜组，它的作用是将物平面上的图案投射到第一中间像平面上；第三个镜组包含了至少一个凹面反射镜，它的作用是将第一中间像平面上的图案投射到第二中间像平面上；第四镜组和第五镜组都为纯折射镜组，它们的作用是将第二中间像平面上的图案投射到像平面上。采用本发明的浸没式投影光学系统，除了可实现数值孔径大于1之外，能有效地降低制造成本，降低镜片的加工、检测和装调难度。

主权项

一种大数值孔径的投影光学系统，用于将位于物平面的图案投影到像平面上，所述大数值孔径的投影光学系统包括第一透镜组(G1)、第二透镜组(G2)、第三反射镜组(G3)、第四透镜组(G4)和第五透镜组(G5)，其特征在于：从光束入射方向的第一透镜组(G1)没有光焦度，第二透镜组(G2)具有正光焦度，第三反射镜组(G3)具有负光焦度，第四透镜组(G4)具有正光焦度，第五透镜组(G5)具有正光焦度，所述大数值孔径的投影光学系统包含了25片透镜和两片反射镜，且包含有非球面表面；所述的第二透镜组(G2)包括第一双凸正透镜(2)、第一弯月负透镜(3)、第二双凸正透镜(4)、第二弯月负透镜(5)、第三双凸正透镜(6)、第一弯月正透镜(7)、第二弯月正透镜(8)、第三弯月正透镜(9)、第四弯月正透镜(10)和第三弯月负透镜(11)。