发明名称 |
一种优化堆叠栅介质与锗界面的方法 |
摘要 |
一种优化堆叠栅介质与锗界面的方法,涉及堆叠栅介质。对Ge衬底进行清洗,去除有机污染物、氧化物和金属杂质等物质;将清洗后的Ge衬底放入原子层沉积系统中,沉积一层Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜,实现对Ge衬底的表面钝化,获得Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Ge结构;将Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Ge结构样品进行湿法退火处理,实现Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Ge界面态的优化;在处理后的样品上生长HfO<sub>2</sub>高K介质;将获得的样品正面固定在掩膜板上,放入磁控溅射机中沉积金属层作为上电极,在样品Ge衬底的背面溅射金属层作为背电极,即得MOS结构器件,实现优化堆叠栅介质与锗界面。可优化高K介质/Ge界面态,并能维持钝化层的热稳定性,可减小工艺流程和时间成本。 |
申请公布号 |
CN105529257A |
申请公布日期 |
2016.04.27 |
申请号 |
CN201610053917.7 |
申请日期 |
2016.01.27 |
申请人 |
厦门大学 |
发明人 |
李成;池晓伟;陈松岩;黄巍 |
分类号 |
H01L21/28(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L29/51(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/28(2006.01)I |
代理机构 |
厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 |
代理人 |
马应森 |
主权项 |
一种优化堆叠栅介质与锗界面的方法,其特征在于包括以下步骤:1)对Ge衬底进行清洗,去除有机污染物、氧化物和金属杂质等物质;2)将清洗后的Ge衬底放入原子层沉积系统(ALD)中,沉积一层Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜,实现对Ge衬底的表面钝化,获得Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Ge结构;3)将步骤2)得到的Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Ge结构样品进行湿法退火处理,实现Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Ge界面态的优化;4)在步骤3)处理后的样品上生长HfO<sub>2</sub>高K介质;5)将步骤4)中获得的样品正面固定在掩膜板上,放入磁控溅射机中沉积金属层作为上电极,在样品Ge衬底的背面溅射金属层作为背电极,即得到MOS结构器件,实现优化堆叠栅介质与锗界面。 |
地址 |
361005 福建省厦门市思明南路422号 |