发明名称 |
一种用于滤光片真空蒸镀设备的蒸发舟 |
摘要 |
本实用新型涉及一种用于滤光片真空蒸镀设备的蒸发舟,蒸发舟由外蒸发盘和内蒸发盘组成,外蒸发盘的圆周边上设置有12张蒸发片,蒸发片呈径向布置,相邻的蒸发片之间呈30°分隔布置,蒸发片的一端固设在外蒸发盘上,另一端固设在内蒸发盘上,通过蒸发片,使外蒸发盘与内蒸发盘同步转动布置,对应于每张蒸发片且在外蒸发盘的底端上固设有12根外电极,每根外电极的一端与对应的蒸发片的一端相连布置,内蒸发盘的底端上设置有4根内电极,相邻的内电极之间呈90°分隔布置,每根内电极的一端与蒸发片的另一端相连。本实用新型通过在外蒸发盘上径向设置的蒸发片,可以达到在相同的结构下,增加蒸发片的个数,从而提高工作效率。 |
申请公布号 |
CN205188423U |
申请公布日期 |
2016.04.27 |
申请号 |
CN201520988764.6 |
申请日期 |
2015.12.02 |
申请人 |
苏州奥夫特光学技术有限公司 |
发明人 |
赵培;何清 |
分类号 |
C23C14/26(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/26(2006.01)I |
代理机构 |
北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 |
代理人 |
刘洪勋 |
主权项 |
一种用于滤光片真空蒸镀设备的蒸发舟,其特征在于:所述蒸发舟由外蒸发盘(1)和内蒸发盘(2)组成,所述外蒸发盘(1)的圆周边上设置有12张蒸发片(3),且每张蒸发片(3)呈径向布置,所述蒸发片(3)与蒸发片(3)之间呈30°分隔布置,所述外蒸发盘(1)的中心处开设有一圆孔,圆孔内设置有内蒸发盘(2),所述蒸发片(3)的一端固设在外蒸发盘(1)上,另一端固设在内蒸发盘(2)上,通过蒸发片(3),使外蒸发盘(1)与内蒸发盘(2)同步转动布置,在所述外蒸发盘(1)的底端上固设有12根外电极(4),每根外电极(4)与每张蒸发片(3)一一相对应设置,每根所述外电极(4)的一端与对应的蒸发片(3)的一端相连布置,沿所述内蒸发盘(2)底端的圆周边上设置有4根内电极(5),所述内电极(5)与内电极(5)之间呈90°分隔布置,每根所述内电极(5)的一端与蒸发片(3)的另一端相连。 |
地址 |
215153 江苏省苏州市高新技术产业开发区科技城吕梁山路260号 |