质量分析装置

摘要

在多级差动排气系统的质量分析装置中，以离子透镜（13）的开口的周缘部位于以最短距离将前级的第2离子导向器（12）的后缘端的内切圆和后级的第3离子导向器（14）的前缘端的内切圆连接起来的虚拟的筒状体的周面的外侧的方式，确定各离子导向器（12、14）的内切圆半径与离子透镜（13）的开口的尺寸的关系，该离子透镜（13）设置于用于将第2中间真空室（3）和第3中间真空室（4）分隔开的隔壁。由此，虽然离子透镜（13）配置于第2中间真空室（3）和第3中间真空室（4）之间，但是由第2离子导向器（12）产生的高频电场和由第3离子导向器（14）产生的高频电场通过离子透镜（13）的开口而实质上相连，自第2离子导向器（12）向第3离子导向器（14）更有效地、即损失较小地输送离子，从而能向质量分析提供更多的离子。其结果，能够提高检测灵敏度。

主权项

一种质量分析装置，其具有离子输送光学系统，该离子输送光学系统构成为隔着具有供离子通过的开口的离子透镜或者开口板而在离子透镜或者开口板的前级和后级分别配置有多极型的离子导向器，其特征在于，电压源用于向各前级的离子导向器和后级的离子导向器施加高频电压，两个高频电压具有相同的频率和相同的相位，或者频率相同而相位被控制在规定的容许偏差的范围内，以上述离子透镜的开口的周缘部或者开口板的开口的周缘部与以最短距离将上述前级的离子导向器的后缘端的内切圆和上述后级的离子导向器的前缘端的内切圆连接起来的虚拟的筒状体的周面相接触或者位于该周面的外侧的方式，确定各离子导向器的内切圆半径与上述离子透镜的开口的尺寸或者开口板的开口的尺寸的关系。