具有改善的电极结构的电容式压力传感器

摘要

一种改善的电容式压力计，所述压力计包括：(a)包括公共电极的膜片；以及(b)包括中心电极和环形电极的电极结构，其中所述膜片可相对于电极结构在(ⅰ)当膜片每一侧上的压力相同时的零位置，与(ii)当最大的可测量压差被施加到膜片时的最大差分位置之间移动；以及膜片支撑结构，其布置成支撑膜片，使得膜片相对于电极结构受到限制，并且所述公共电极与所述中心电极和所述环形电极间隔开并且相对于所述压力计的对准轴与所述中心电极和所述环形电极轴向对准；以及电极支撑结构，所述电极支撑结构被布置成支撑所述电极结构并且包括柔顺环，所述柔顺环包括一体形成于所述环中并且围绕所述对准轴成角度地间隔开的至少三个弯曲部分；其中所述电极支撑在所述柔顺环弯曲部分的位置处相对于所述膜片被夹持就位。

主权项

一种电容式压力计，包括：(a)膜片，所述膜片包括公共电极；以及(b)电极结构，所述电极结构包括中心电极和环形电极，其中所述膜片能够相对于所述电极结构在(ⅰ)当所述膜片的每一侧上的压力相同时的零位置，与(ii)当最大的可测量压差被施加到所述膜片时的最大差分位置之间移动；以及膜片支撑结构，所述膜片支撑结构被布置成支撑所述膜片，使得所述膜片相对于所述电极结构被限制，并且所述公共电极与所述中心电极和所述环形电极间隔开并且相对于所述压力计的对准轴与所述中心电极和所述环形电极轴向对准；以及电极支撑结构，所述电极支撑结构被布置成支撑所述电极结构并且包括柔顺环，所述柔顺环包括至少三个弯曲部分，所述至少三个弯曲部分通过在它们之间形成多个槽而一体形成于所述环中并且围绕所述对准轴成角度地间隔开；其中所述电极支撑在所述柔顺环弯曲部分的位置处相对于所述膜片被夹持就位。