发明名称 末端块组件和插座组件
摘要 根据多种实施方案,用于将末端块保持在处理室上的插座组件可包括如下各项:第一插座元件,具有用于将第一插座元件固定在处理室壁上的第一固定组件和第二固定组件;和第二插座元件,具有用于将第二插座元件固定在第一插座元件上的第三固定组件和用于将末端块固定在第二插座元件上的第四固定组件;其中所述第一插座元件的第二固定组件和所述第二插座元件的第三固定组件可被形成用于相互啮合,并以第二插座元件可相对于第一插座元件可偏转这样的方式起作用。
申请公布号 CN105529580A 申请公布日期 2016.04.27
申请号 CN201510679930.9 申请日期 2015.10.19
申请人 冯·阿登纳有限公司 发明人 塞巴斯蒂安·西格特;格里特·施图德;格尔德·阿诺德;汉斯-尤尔根·海因里希;佛罗莱恩·维甘德
分类号 H01R13/73(2006.01)I;H01R13/514(2006.01)I;H01J37/34(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 主分类号 H01R13/73(2006.01)I
代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 巩克栋;杨生平
主权项 用于将末端块保持在处理室上的插座组件,所述插座组件包括:第一插座元件和第二插座元件,所述第一插座元件包括:用于将第一插座元件固定在处理室壁上的第一固定组件,和第二固定组件;所述第二插座元件包括:用于将第二插座元件固定在第一插座元件上的第三固定组件和用于将末端块固定在第二插座元件上的第四固定组件;其中所述第一插座元件的第二固定组件和所述第二插座元件的第三固定组件被形成用于相互啮合,并以第二插座元件相对于第一插座元件可偏转这样的方式起作用。
地址 德国德累斯顿