| 发明名称 |
MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM DEVICE INCLUDING A METAL PROOF MASS AND A PIEZOELECTRIC COMPONENT |
| 摘要 |
본 개시물은 전자기계식 디바이스들에 대한 시스템들, 장치들 및 디바이스들 및 제조 방법들을 개시한다. 일 구현에서, 장치는 MEMS 디바이스의 일 부분으로서 금속 프루프 매스 및 압전 컴포넌트를 포함한다. 이러한 장치는 MEMS 자이로스코프 디바이스들에 특히 유용할 수 있다. 예를 들어, 실리콘보다 수배 큰 밀도를 가질 수도 있는 금속 프루프 매스는 MEMS 디바이스에서 직교 및 바이어스 에러를 감소시킬 수 있고, MEMS 자이로스코프 디바이스의 감도를 증가시킬 수 있다. |
| 申请公布号 |
KR20160045921(A) |
申请公布日期 |
2016.04.27 |
| 申请号 |
KR20167009704 |
申请日期 |
2012.03.09 |
| 申请人 |
QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
BLACK JUSTIN PHELPS;GANAPATHI SRINIVASAN KODAGANALLUR;STEPHANOU PHILIP JASON;PETERSEN KURT EDWARD;ACAR CENK;SHENOY RAVINDRA VAMAN;BUCHAN NICHOLAS IAN |
| 分类号 |
H01L41/083;B81B3/00;G01C19/56;H01L41/113;H01L41/18 |
主分类号 |
H01L41/083 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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