| 发明名称 | 抛光设备 | ||
| 摘要 | 抛光设备(1)具有抛光垫(22)、用于夹持半导体晶片(W)的顶环(20)、可操作地沿垂直方向移动顶环(20)的垂直运动机构(24)、当顶环(20)的下表面接触抛光垫(22)时可操作地检测顶环(20)的距离测量传感器(46)、可操作地基于距离测量传感器(46)检测到的位置计算顶环(20)抛光半导体晶片(W)的最佳位置的控制器(47)。垂直运动机构(24)包括可操作地将顶环(20)移动到最佳位置的滚珠丝杆机构(30，32，38，42)。 | ||
| 申请公布号 | CN102513920B | 申请公布日期 | 2016.04.27 |
| 申请号 | CN201110447907.9 | 申请日期 | 2005.10.31 |
| 申请人 | 株式会社荏原制作所 | 发明人 | 锅谷治;户川哲二;福岛诚;安田穗积 |
| 分类号 | B24B37/07(2012.01)I;B24B37/20(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I;B24B51/00(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/07(2012.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 陈珊;刘兴鹏 |
| 主权项 | 一种抛光设备，包括：具有抛光表面的抛光垫；设计成朝向所述抛光表面挤压衬底的顶环主体；设计成能够相对于所述顶环主体竖直移动以挤压所述抛光表面的卡环，所述卡环连接到所述顶环主体的周边部分处；以及设置在所述顶环主体下部处的弹性隔膜，所述顶环主体的所述下部和所述弹性隔膜形成压力室，加压流体供给到所述压力室中，所述弹性隔膜与至少一部分衬底接触；以及用于将顶环主体的旋转传递到所述卡环的多个传动销，其中所述弹性膈膜具有盖住所述弹性隔膜和所述卡环之间的间隙的密封部分，所述密封部分位于所述压力室外部以便不接收加压流体的压力，以及所述密封部分与所述弹性膈膜形成一体，以及所述密封部分和所述弹性膈膜由同一橡胶材料形成。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||