激光加工调焦装置、调焦方法及激光加工设备

摘要

本发明提出了一种激光加工调焦装置、调焦方法及加工设备，所述装置包括：Z向升降机构；振镜组件及电动变焦聚焦镜，固定于所述Z向升降机构上；坐标生成器，用于获取工件曲面坐标数据；控制系统，其分别电连接于所述Z向升降机构、电动变焦聚焦镜及坐标生成器；所述控制系统根据所述坐标生成器提供的曲面坐标数据控制所述Z向升降机构进行升降运动，并控制所述电动变焦聚焦镜将激光光束聚焦于工件表面。本发明实现了激光光束焦点位置随工件表面实时动态调节，其精确度高且性能稳定，保证了激光加工工件的质量及尺寸的稳定性及一致性。

主权项

一种激光加工调焦装置，其特征在于，包括：Z向升降机构；振镜组件及电动变焦聚焦镜，固定于所述Z向升降机构上；坐标生成器，用于获取工件曲面坐标数据；控制系统，其分别电连接于所述Z向升降机构、电动变焦聚焦镜及坐标生成器；所述控制系统根据所述坐标生成器提供的曲面坐标数据控制所述Z向升降机构进行升降运动，并控制所述电动变焦聚焦镜将激光光束聚焦于工件表面；所述坐标生成器为测高传感器或存储有工件曲面坐标数据的存储介质。