一种多适配材料蒸发器

摘要

本实用新型提供了多适配材料蒸发器，包括蒸发器本体，蒸发器本体分上下两部分；真空蒸发沉积部与动力传输和真空管路容置部通过设置在蒸发器本体中部的圆形密封隔板分隔开来；主转动轴上设置一级沉积盘，一级沉积盘为圆盘状，一级沉积盘的圆心即为主转动轴的轴心；一级沉降盘2中心设置一个与一级沉降盘同心圆的一级沉降区；沿一级沉降盘圆周等角度分布6个二级沉降盘，二级沉降盘与一级沉降盘之间通过二级副转动轴连接；每个二级沉降盘设置蒸发螺旋，每个蒸发螺旋顶部设置容置镀膜材料的蒸发坩锅；二级沉降盘沿圆周等角度分布6个二级沉降区。

主权项

一种多适配材料蒸发器，包括蒸发器本体，其特征在于，蒸发器本体整体呈圆柱状，蒸发器本体分上下两部分，上部为真空蒸发沉积部，下部为动力传输和真空管路容置部；真空蒸发沉积部与动力传输和真空管路容置部通过设置在蒸发器本体中部的圆形密封隔板分隔开来；圆形密封隔板中央向真空蒸发沉积部空间内设置主转动轴；主转动轴上设置一级沉积盘，一级沉积盘为圆盘状，一级沉积盘的圆心即为主转动轴的轴心；一级沉降盘2中心设置一个与一级沉降盘同心圆的一级沉降区，一级沉降区半径为一级沉降盘半径的一半；一级沉降盘上一级沉降区之外的环形区域，沿一级沉降盘圆周等角度分布6个二级沉降盘，二级沉降盘与一级沉降盘之间通过二级副转动轴连接，二级副转动轴同时为二级沉降盘的动力传输轴；每个二级沉降盘中央设置蒸发螺旋，蒸发螺旋与二级副转动轴连接，二级副转动轴上设置轴套与二级沉降盘连接，每个蒸发螺旋顶部设置容置镀膜材料的蒸发坩锅；二级沉降盘沿圆周等角度分布6个二级沉降区。