发明名称 |
具有多面检测能力的晶粒挑拣装置 |
摘要 |
一种具有多面检测能力之晶粒挑拣装置,其包含有:一供应模块;一承接模块,其系相邻于该供应模块;一旋转模块,其系设于该承接模块的上方;一第一取放模块,其具有复数个取放单元,各取放单元系转动地设于该旋转模块;以及一边检测模块,其系设于该第一取放模块的一侧;其中,该供应模块系供至少一晶粒设置;各取放单元系吸取一晶粒,各取放单元系转动一设定角度,以使该边检测模块撷取该晶粒之复数个侧边影像,各取放单元所吸取的晶粒系放置于该承接模块。 |
申请公布号 |
CN205194665U |
申请公布日期 |
2016.04.27 |
申请号 |
CN201520851948.8 |
申请日期 |
2015.10.30 |
申请人 |
苏州均华精密机械有限公司 |
发明人 |
石敦智;黄良印;杨天德;林逸伦;胡文清 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 |
代理人 |
马明渡;徐丹 |
主权项 |
一种具有多面检测能力的晶粒挑拣装置,其特征在于:其包含有:一供应模块;一承接模块,其系相邻于该供应模块;一旋转模块,其系设于该承接模块的上方;一第一取放模块,其具有多个取放单元,各该取放单元系转动地设于该旋转模块;以及一侧边检测模块,其系设于该第一取放模块的一侧;其中,该供应模块系供至少一晶粒设置;各该取放单元系吸取一晶粒,各该取放单元系转动一设定角度,以使该侧边检测模块撷取该晶粒之多个侧边影像,各该取放单元所吸取的晶粒系放置于该承接模块。 |
地址 |
215101 江苏省苏州市吴中区木渎镇金枫南路777号金枫高新产业园H幢1楼 |