发明名称 具有多面检测能力的晶粒挑拣装置
摘要 一种具有多面检测能力之晶粒挑拣装置,其包含有:一供应模块;一承接模块,其系相邻于该供应模块;一旋转模块,其系设于该承接模块的上方;一第一取放模块,其具有复数个取放单元,各取放单元系转动地设于该旋转模块;以及一边检测模块,其系设于该第一取放模块的一侧;其中,该供应模块系供至少一晶粒设置;各取放单元系吸取一晶粒,各取放单元系转动一设定角度,以使该边检测模块撷取该晶粒之复数个侧边影像,各取放单元所吸取的晶粒系放置于该承接模块。
申请公布号 CN205194665U 申请公布日期 2016.04.27
申请号 CN201520851948.8 申请日期 2015.10.30
申请人 苏州均华精密机械有限公司 发明人 石敦智;黄良印;杨天德;林逸伦;胡文清
分类号 H01L21/67(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人 马明渡;徐丹
主权项 一种具有多面检测能力的晶粒挑拣装置,其特征在于:其包含有:一供应模块;一承接模块,其系相邻于该供应模块;一旋转模块,其系设于该承接模块的上方;一第一取放模块,其具有多个取放单元,各该取放单元系转动地设于该旋转模块;以及一侧边检测模块,其系设于该第一取放模块的一侧;其中,该供应模块系供至少一晶粒设置;各该取放单元系吸取一晶粒,各该取放单元系转动一设定角度,以使该侧边检测模块撷取该晶粒之多个侧边影像,各该取放单元所吸取的晶粒系放置于该承接模块。
地址 215101 江苏省苏州市吴中区木渎镇金枫南路777号金枫高新产业园H幢1楼