用于化学机械平面化的具有表面活性剂的固定磨料垫片

摘要

本发明提供了一种采用结构化磨料制品形式的固定磨料垫片(100)，所述垫片具有设置在背衬(110)上的结构化磨料层(120)。结构化磨料层(120)包括聚合物粘结剂、分散在粘结剂中的磨粒和分散在粘结剂中的非离子聚醚表面活性剂。所述磨粒具有小于约200nm的平均粒径，并且按结构化磨料层的总重量计，在所述粘结剂中所述表面活性剂的量为0.75重量%至2.2重量%。本发明还提供了使用所提供的固定磨料垫片研磨工件的方法。

主权项

一种结构化磨料制品，包括：背衬，具有相背的第一主表面和第二主表面；结构化磨料层，设置并固定于所述第一主表面上，其中，所述结构化磨料层包括：聚合物粘结剂，分散在所述粘结剂中的磨粒；其中所述磨粒基本上由二氧化铈粒子组成，且排除其量显著影响结构化磨料制品的研磨性质的非二氧化铈磨粒，所述二氧化铈粒子具有按体积计在1至95纳米范围内的平均粒度；和分散在所述粘结剂中的非离子聚醚表面活性剂，其中，所述非离子聚醚表面活性剂没有通过共价键链接到交联的所述聚合物粘结剂，并且其中，按所述结构化磨料层的总重量计，所述非离子聚醚表面活性剂的存在量为0.75重量％至2.2重量％。