电感耦合等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种电感耦合等离子体处理装置，该处理装置即使在应对被处理基板的大型化而将电介质窗部每边分割成三份以上，从而比现有技术分割了更多片的分割片的情况下，也能够在处理室内产生强等离子体。该装置具备：用于在处理室内的等离子生成区域产生电感耦合等离子体的高频天线(11a)～(11c)；配置在等离子生成区域与所述高频天线(11a)～(11c)之间，并包含多个感应部件(3a)～(3h)和支承该多个感应部件(3a)～(3h)的导电性梁(7)的电介质窗部(3)。导电性梁(7)将电介质窗部每边分割成三份以上，并且，在导电性梁(7)将电介质窗部(3)每边分割成三份以上时，在导电性梁(7)中不会形成有在电介质窗部(3)的部分沿着高频天线(11a)、(11b)生成的闭环电路(200)。

主权项

一种电感耦合等离子体处理装置，其在处理室内的等离子生成区域产生电感耦合等离子体，来对基板进行等离子处理,所述装置的特征在于，具备：用于在所述等离子生成区域产生所述电感耦合等离子体的高频天线；以及配置在所述等离子生成区域与所述高频天线之间，并包括多个感应部件和支承该多个感应部件的导电性梁的电介质窗部，所述导电性梁将所述电介质窗部每边分割成三份以上，并且，在所述导电性梁将所述电介质窗部每边分割成三份以上时,在所述导电性梁中不会形成在所述电介质窗部的中央部分沿所述高频天线生成的闭环电路，所述导电性梁被配置成在所述电介质窗部的中央部分与所述高频天线交叉，以便使所述闭环电路消失。